京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点

B:ナノ材料加工・創製装置群

B1 多元スパッタ装置A  
品名・型番: 汎用性スパッタリング装置 EB1100
製造   : キャノンアネルバ株式会社

B2 多元スパッタ装置B  
品名・型番: 汎用性スパッタリング装置 EB1100
製造   : キャノンアネルバ株式会社

B3 電子線蒸着装置  
品名・型番: 自動蒸着装置 EB1200
製造   : キャノンアネルバ株式会社

B4 真空蒸着装置  
品名・型番: 抵抗加熱蒸着装置 L-045E
製造   : 株式会社サンバック

B5 プラズマCVD装置  
品名・型番: SiO2厚膜形成用プラズマCVD装置 Model:MPX-CVD
製造   : 住友精密工業株式会社

B6 集束イオンビーム/走査電子顕微鏡  
品名・型番: NVision40PI
製造   : エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

B7 熱酸化炉  
品名・型番: チューブ炉 MT-8x59-S
製造   : 光洋サーモシステム株式会社

B8 深堀りドライエッチング装置  
品名・型番: MEMS用高速シリコンエッチング装置 RIE-800iPB-KU
製造   : サムコ株式会社

B9 磁気中性線放電ドライエッチング装置  
品名・型番: 高密度プラズマドライエッチング装置 NLD-570
製造   : 株式会社アルバック

B10 ドライエッチング装置  
品名・型番: リアクティブイオンエッチング装置 RIE-10NR-KF
製造   : サムコ株式会社

B11 電子サイクロトロン共鳴イオンビーム加工装置  
品名・型番: ECRイオンシャワー装置 EIS-1200
製造   : 株式会社エリオニクス

B12 シリコン酸化膜犠牲層ドライエッチングシステム  
品名・型番: シリコン酸化膜犠牲層エッチング装置 MLT-SLE-0x
製造   :住友精密工業株式会社

B13 シリコン犠牲層ドライエッチングシステム  
品名・型番: シリコン犠牲層エッチング装置 X-SYS-3B(Xactix社製 Xetch X3B)
製造   : 住友精密工業株式会社

B14 赤外フェムト秒レーザー加工装置  
品名・型番: FREGAT
製造   : 株式会社東京インスツルメンツ

B15 レーザアニール装置  
品名・型番: LAEX-1000 KrFエキシマレーザアニーリングシステム
製造   : AOV株式会社

B16 紫外線ナノインプリントボンドアライメント装置  
品名・型番:  SUSS MA/BA8 Gen3
製造   : ズース・マイクロテック株式会社

B17 基板接合装置  
品名・型番:  SUSS SB8e
製造   : ズース・マイクロテック株式会社

B18 レーザダイシング装置  
品名・型番:  Mahoh Dicer ML200
製造   : 株式会社東京精密

B19 ダイシングソー  
品名・型番:  オートマチックダイシングソー DAD322
製造   : 株式会社DISCO

B20 真空マウンター  
品名・型番:  真空テープ貼り付け装置 VTL-201
製造   : 日本電気株式会社

B21 紫外線照射装置  
品名・型番:  LED光源UVフィルム硬化装置 LED-4082
製造   : テクノビジョン

B22 エキスパンド装置  
品名・型番:  ウエハー拡張装置 TEX-21BG GR-5対応
製造   : テクノビジョン

B23 ウェッジワイヤボンダ  
品名・型番:  超音波熱圧着ウェッジワイヤーボンダー 7400D
製造   : ハイソル株式会社 (ウエスト・ボンド社)

B24 ボールワイヤボンダ  
品名・型番:  超音波熱圧着ボールワイヤー&バンプボンダー 7700D
製造   : ハイソル株式会社 (ウエスト・ボンド社)

B25 ダイボンダ  
品名・型番:  マニュアルエポキシボンダー 7200CR
製造   : ハイソル株式会社 (ウエスト・ボンド社)

B26 ナノインプリントシステム  
品名・型番:  EitreTM 3
製造   : Obducat Technologies AB

B27 赤外透過評価検査/非接触厚み測定機  
品名・型番:  IRise−T
製造   : 株式会社モリテックス

B51 パリレン成膜装置  
品名・型番:  ラボコータ PDS-2010
製造   : 日本パリレン株式会社

B52 ICP-RIE装置  
品名・型番:  NE-730
製造   : 株式会社ULVAC

B53 簡易RIE装置  
品名・型番:  FA-1
製造   : 株式会社サムコ

B54 ウエハ接合装置  
品名・型番:  WAP-100
製造   : ボンドテック株式会社

B55 ナノインプリント装置  
品名・型番:  MSP-1000HC
製造   : 株式会社マルニ

B56 ダイシング装置  
品名・型番:  オートマチックダイシングソー DAD322
製造   : 株式会社DISCO

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