この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター
B21
紫外線照射装置
UV Curing System
LED光源UVフィルム硬化装置
LED-4082
製造：
テクノビジョン
LEDを光源として特定波長の紫外線を照射することにより、 UV硬化フィルムなどの粘着力を低下させ、ダイボンディング時のピックアップ性を高めることを目的とした装置
装置仕様
基板サイズ
Wafer Φ6"以下
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
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をご覧ください。
