ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B27赤外透過評価検査・非接触厚み測定機
Infrared MEMS Analyzer

  • IRise-T
  • 製造：(株)モリテックス
  • 赤外線により、非接触にて対象物の観察(内部観察)を行い、かつシリコンウェハ上の薄膜の厚みを測定することができる。
赤外透過評価検査・非接触厚み測定機<br>Infrared MEMS Analyzer
機能
基板 最大Φ8インチウェハーに対応
低倍率レンズ使用時
レンズ倍率 0.75～4.5倍
画像分解能 0.93～1.16μm/画素
高倍率レンズ使用時
レンズ倍率 20倍
画像分解能 0.26μm/画素
厚み測定
測定分解能 0.01μm以下
測定範囲 5～150μm
設置場所
総合研究6号館
イエロールーム
装置利用料金
こちらをご覧ください。