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お知らせ

2020/02/04
定期メンテナンス【A15】3/23~3/31

装置名:A15 大面積超高速電子ビーム描画装置(F7000S-KYT01)

期間:3月23日(月)~3月31日(火)

ご不便をおかけしますが、ご理解とご協力の程よろしくお願いいたします。