ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

お知らせ

2020/10/01
新規装置(A17,B31)共用開始のお知らせ

昨年度、ナノハブに導入致しました下記2装置につきましては、

これまでデモ機としてご利用頂いておりましたが、

2020年10月1日より共用(有料化)を開始させて頂きます。

みなさまのご利用をお待ちしております。

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・A17:超臨界洗浄・乾燥装置/(株)レクザム

・B31:水蒸気プラズマクリーナー/サムコ(株)