京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点

C:ナノ材料分析・評価装置群

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C26 マニュアルプローバ

マニュアルプローバ
製造:(株)アポロウェーブ



特徴
・6インチホットチャックにより、室温から300℃の高温でデバイスの評価が可能。
・粗動+XYZθ高精度精密ステージによりスムーズで正確なデバイスの位置合わせが可能。
・プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm
・シールドボックスに格納し、遮光した状態での評価が可能。
・タングステン針、RFプローブ(C27)を用意。
・RFプローブはカスケード社、ズース社、GGB社の全てに対応。
・計測器として、ROHDE&SCHWARZ社製ベクトル・ネットワーク・アナライザR&S ZVBもしくはKEITHLEY Instruments社製半導体特性評価システム4200-SCSを使用。
(それぞれ、C28, C29)

装置利用料金

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設置場所
工学部1号館1F
加工・評価室

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