| マニュアルプローバ 製造：(株)アポロウェーブ |
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| ・6インチホットチャックにより、室温から300℃の高温でデバイスの評価が可能。 ・粗動+XYZθ高精度精密ステージによりスムーズで正確なデバイスの位置合わせが可能。 ・プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm ・シールドボックスに格納し、遮光した状態での評価が可能。 ・タングステン針、RFプローブ(C27)を用意。 ・RFプローブはカスケード社、ズース社、GGB社の全てに対応。 ・計測器として、ROHDE&SCHWARZ社製ベクトル・ネットワーク・アナライザR&S ZVBもしくはKEITHLEY Instruments社製半導体特性評価システム4200-SCSを使用。 (それぞれ、C28, C29) |
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| 工学部1号館1F 加工・評価室 |
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