ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

京都大学ナノテクノロジーハブ拠点について


概要

 ナノテクノロジーハブ拠点は微細加工プラットフォーム実施機関として、世界最高レベルの90余種類の最新鋭の微細加工・評価装置群と専門技術職員を擁する独立組織として運用し、日本の全ての研究者・技術者にシンセシス知を創出・蓄積・活用・継承するためのアンダーワンルーフ型研究開発環境と人的交流環境を提供し、日本の学術レベルの飛躍と成長戦略に寄与します。
大学・企業・研究機関の研究者・技術者のどなたにもナノテクノロジーハブ拠点の施設と装置のご利用を提供します。
 ナノテクノロジープラットフォーム事業は文部科学省の主導事業につき、ご利用にあたっては研究成果公開を原則とさせて頂いております。機密保持等のために研究成果の公開を控えたい方は成果非公開型(自主事業)にてご利用いただけます。


当拠点の特徴

1.多種多様な基板・薄膜材料をウエハレベルで加工・評価することができる
ナノマイクロ試作ラインを提供します

■ナノリソグラフィー装置…マスク作製からレジスト現像までの一連の装置
■ナノ材料加工・創製装置…各種ドライエッチング薄膜作製などの装置
■ナノ材料分析・評価装置…SEM、AFM、蛍光顕微鏡、電気特性評価装置など

2.開かれた施設として運用しています

京都大学内ではどの研究室にも属さない研究支援のための施設として、簡単な利用審査手続きで学内外の研究者に広くご利用いただけます。

3.装置ごとに利用時間に応じた料金を設定しています

1時間当たりの料金が設定されています。貴重な研究予算の有効利用が図れます。

4.利用者自らが装置を操作し実験できます

拠点専属の技術職員による支援を受けながら利用できます。進行状況や結果に応じて、実験条件を変更できます。

5.技術相談に応じ、技術代行サービスも提供します


スタッフ

ナノプラ事業分担責任者 土屋 智由
技術スタッフ 阿部、井上、今井、大村、河野、岸村、
佐藤、嶋田、瀬戸、高橋、竹内、永松、
松嶋、西井、平尾
事務スタッフ 黒川、細見

スタッフ写真

定款・規定

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京都大学ナノテクノロジーハブ拠点利用約款はこちら▶ ナノハブ拠点利用約款(PDF)