ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

京都大学ナノテクノロジーハブ拠点について


概要

 京都大学ナノテクノロジーハブ拠点(ナノハブ)では、文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ事業」の「マルチマテリアル化・次世代高分子マテリアル重要技術領域」のハブ拠点として、また加工・デバイスプロセスの支援実施機関として、最新鋭微細加工装置群と専門技術職員を擁するリサーチインフラを駆使して、産官学の多様な利用者にシンセシス知を創出・蓄積・活用・継承するためのアンダーワンルーフ型研究開発環境と人的交流環境を提供します。
 多種多様な基板・薄膜材料を4インチまたは6インチのウエハレベルで加工・評価することができるナノマイクロ試作ラインを提供する開かれた施設として運用し、加工・プロセスのデータベースを構築し、皆様に利活用いただきます。
 簡単な利用審査手続きにより、企業を含めた内外の研究者のどなたにもご利用いただけます。多数の高機能高性能の微細加工・評価装置と優秀な技術職員を備えて、皆様のご利用をお待ちしています。


当拠点の特徴

1.多種多様な基板・薄膜材料をウエハレベルで加工・評価することができる
ナノマイクロ試作ラインを提供します

■ナノリソグラフィー装置…マスク作製からレジスト現像までの一連の装置
■ナノ材料加工・創製装置…各種ドライエッチング薄膜作製などの装置
■ナノ材料分析・評価装置…SEM、AFM、蛍光顕微鏡、電気特性評価装置など

2.開かれた施設として運用しています

京都大学内ではどの研究室にも属さない研究支援のための施設として、簡単な利用審査手続きで学内外の研究者に広くご利用いただけます。

3.装置ごとに利用時間に応じた料金を設定しています

1時間当たりの料金が設定されています。貴重な研究予算の有効利用が図れます。

4.利用者自らが装置を操作し実験できます

拠点専属の技術職員による支援を受けながら利用できます。進行状況や結果に応じて、実験条件を変更できます。

5.技術相談に応じ、技術代行サービスも提供します


スタッフ

ナノプラ事業分担責任者 土屋 智由
技術スタッフ 赤松、諫早、井上、今井、上田、江崎
大村、海津、河野、岸村、佐藤、嶋田
鈴村、瀬戸、高橋、塚本、松嶋、西井
事務スタッフ 中山、細見、松本

スタッフ写真

定款・規定

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