京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点
京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点
京都大学 ナノテクノロジーハブ拠点(ナノハブ)では、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム事業」の微細加工実施機関として、 最新鋭微細加工装置群と8名の専門技術職員を擁する微細加工プラットフォームを駆使して, 産官学の多様な利用者にシンセシス知を創出・蓄積・活用・継承するためのアンダーワンルーフ型研究開発環境と人的交流環境を提供します。
多種多様な基板・薄膜材料を4、6インチのウエハレベルで加工・評価することができるナノマイクロ試作ラインを提供する開かれた施設として運用します。 簡単な利用審査手続きにより、企業を含めた内外の研究者のどなたにもご利用いただけます。
ナノテクノロジープラットフォーム事業でのナノハブの利用は成果公開をいただける利用者に限ります。 ただし、特許出願や論文投稿などのため,成果の公開を2年程度延期することが可能です。
なお、機密保持等のため研究成果の公開を控えたい利用者には、別のサービス(LCnet)を提供しています(http://www.mnhub.cpier.kyoto-u.ac.jp/LCnet/)ので、そちらをご利用ください。

 施設運転情報

  2016.6.24 夏季休業のお知らせ
8月12日(金)〜17日(水)は夏季休暇のため、ナノハブの全装置はご利用できません。
ご利用開始は18日(木)からとなります。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2016.5.18 装置利用停止のお知らせ
A15 大面積超高速電子ビーム描画装置(F7000S-KYT01)の定期メンテを5月30日から6月9日にかけて実施します。
5月30日(月)から6月9日(木)にかけて実施します。この間装置が利用できません。
ご不便をお掛けし誠に申し訳ございませんが、ご理解とご協力の宜しく御願い申し上げます。

  2016.4.12 装置利用停止のお知らせ
5月2日(月)及び5月6日(金)は、装置・設備メンテナンスのためナノハブの全装置はご利用できません。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2016.2.26 装置利用停止のお知らせ
3月28日(月)〜4月4日(月)までの間、メンテナンスの為ナノハブの全装置はご利用できません。
4月5日(火)より通常利用となります。ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2015.12.4 年末年始のお知らせ
年内は12月24日(木)が最終ご利用日となり、12月29日(火)〜1月3日(日)まで年末年始休業日、
1月4日(月)は装置メンテナンス日となり、この期間中、ナノハブの全装置はご利用できません。
1月5日(火)より通常利用となります。ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2015.10.2 利用停止装置のお知らせ
10/9(金)〜10/23(金)の期間、A15 大面積超高速電子ビーム描画装置が定期メンテナンスの為、ご利用できません。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2015.9.25 吉田地区停電による装置ご利用停止のご案内
10月13日 全装置利用不可。10月14日、15日 一部装置は利用できます(お問い合わせください)
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2015.7.8 夏季休業及び装置停止のお知らせ
8月10日(月)〜12日(水)は夏季一斉休業日、8月13日(木)および14日(金)は装置メンテナンス日となります。
この期間中、ナノハブの全装置はご利用できません。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2015.4.3 利用停止装置のお知らせ
4/3〜4/15の期間、A15 大面積超高精度電子線描画装置、
4/13〜4/16の期間、B18 レーザダイシング装置が、定期メンテナンスの為、ご利用できません。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2015.3.16 利用停止装置のお知らせ
1号館・6号館の装置メンテナンスならびにユーティリティメンテナンスのため、
3月30日(月)から4月6日(月)の期間中、1号館・6号館の装置は利用できません。
※また移設のため31日まで利用停止となっておりましたVBL設置装置は4/1(水)より通常利用していただけます。

  2015.2.20 利用停止装置のお知らせ
3月9日(月)から31日(火)の期間中、移設のためVBL設置装置は利用できません。
該当装置はこちら  になりますのでご確認ください。※1号館・6号館の装置は通常利用していただけます。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします

  2014.11.27 年末年始のお知らせ
年内は12月25日(木)が最終ご利用日となり、12月27日(土)〜1月4日(日)まで年末年始休業日、
1月5日は装置メンテナンス日となり、この期間中、ナノハブの全装置(1号館、6号館、VBL)はご利用できません。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします

  2014.8.19 新装置 利用受付開始のお知らせ
新装置『大面積超高精度電子線描画装置』(株式会社アドバンテスト社製 F7000S-KYT01)の
利用受付を開始しました。利用料金は  こちら  をご覧下さい。
また装置利用に関するご質問等は、Mailにて受け付けています。お気軽にお問合せください。
皆様のご利用をお待ちしております。

  2014.7.30 新装置利用開始のお知らせ
2014年8月より『大面積超高精度電子線描画装置』(株式会社アドバンテスト社製 F7000S-KYT01)の利用を
開始します。本装置は、1Xnmの解像性能で、研究開発から製造までの幅広い用途に適応します。
料金等詳細は近々にお知らせします。ご利用のほど宜しくお願いいたします。

  2014.7.2 夏季休業及び装置停止のお知らせ
8月11日(月)〜13日(水)は夏季一斉休業日、8月14日(木)および15日(金)は装置メンテナンス日となります。
この期間中、ナノハブの全装置(1号館、6号館、VBL)はご利用できません。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2014.6.12 創立記念日のお知らせ
6月18日(水)は、京都大学創立記念日で休日となりますため、ナノハブの全装置(1号館、6号館、VBL)は
ご利用できません。ご不便をおかけしますが、ご了承ください。

  2014.3.26 利用停止装置のお知らせ
桂のナノインプリント装置【B55】は故障中につき当面利用停止となります。
ご利用者様にはご不便をおかけしますが、ご了承ください。

  2014.2.10 装置利用停止のお知らせ
3月6日(木)〜3月7日(金)は  シンポジウム  のため、
3月17日(月)〜3月末の期間、装置移設および設備点検のため、全装置のご利用ができません。
ご利用者様にはご不便をおかけしますが、ご了承ください。※3/17〜3/末は桂の装置はご利用できます。

  2013.12.11 工事による通行規制のお知らせ
工学部2号館とりこわし工事において、12月12日(木)〜12月22日(日)の期間、通行規制が行われますので、
ご注意ください。期間中は、車両・自転車・歩行者は通行できません。当ハブへの出入り口付近が封鎖されますので
大きく迂回していただくことになります。ご迷惑をお掛けしますが、ご協力よろしくお願いいたします。
詳しい経路につきましては  こちら  をご覧ください。不明な点があれば、当ハブまでお問合せください。

  2013.11.27 ナノテクノロジーハブ拠点 年末年始の利用日について
年末年始は施設・装置の清掃、立下げ・立上げ作業を行います。このため、ご利用日は年末:12月25日(水)まで
年始:1月7日(火)よりとさせていただきます。ご利用者にはご不便をおかけしますが、ご了承ください。

  2013.9.25 共用装置を追加します
2013年10月より、三次元微細構造体が製作できる移動マスク紫外線露光装置など10種の装置を追加共用開始します。
装置の設置場所は桂 キャンパスです。 これに伴い、
・「京都大学学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点利用内規」
・「京都大学学際融合教育研究推進センター ナノテクノロジーハブ拠点利用負担金内規」
および「料金表」が改訂されますので、ご注意ください。

  2013.9.2 装置移設作業終了のお知らせ
工学部1号館(加工・評価室)に設置していた装置の移設が完了しました。
新しい設置場所は1号館東隣のVBL棟・地下です。9月2日からご利用可能です。但し、一部装置は立ち上げ調整中です。
ご利用を希望される方は、当ハブまでご連絡ください。

  2013.8.2 夏季休業及び装置停止のお知らせ
8月12日〜14日まで夏季休業となります。また、装置メンテナンスのため15日および16日はご利用できません。
19日からは6号館(クリーンルーム)装置のみご利用できます。
なお、既にお知らせしていますが1号館(加工・評価室)の装置は移転のため、8月中はご利用できません。
9月からご利用できますが、事前にご連絡いただき稼働状況のご確認をお願いいたします。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。

  2013.6.12 工学部1号館設置装置のご利用停止のお知らせ
9月から来年2月末にかけて1号館の耐震工事が始まりますため、工学部1号館(加工・評価室)に設置している全装置を
東隣のベンチャービジネスラボラトリーへ移設します。
それに伴いまして平成25年7月中旬〜8月末までは装置のご利用はできません。
ご利用の皆様方にはご迷惑をおかけいたしますが、ご理解の程宜しくお願いいたします。
なお、総合研究6号館(クリーンルーム)設置の装置は通常どおりご利用できます。

  2013.6.5 創立記念日のお知らせ
6月18日(火)は、京都大学創立記念日で休日となりますため、ナノハブの全装置(1号館(1階、地下室)、6号館)は
ご利用できません。ご不便をおかけしますが、ご了承ください。

  2013.3.14 施設メンテナンスのお知らせ
3月25日(月)より3月29日(金)まで施設メンテナンスのため、ナノハブの全装置(1号館(1階、地下室)、6号館)は
ご利用できません。
また、A1:高速高精度電子ビーム描画装置は3/11(月)よりメンテナンス作業に入っており、3月末まで使用できません。
ご不便をおかけしますが、ご了承ください。


 お知らせ

  2016.4.20 平成28年度電子線描画リソグラフィクスクール 参加者募集のお知らせ

『平成28年度電子線描画リソグラフィクスクール』を開催いたします。
詳細は  こちら  をご覧下さい。

・講義:6月14日(火)13時〜16時10分
・実習:6月15日(水)9時〜17時
・施設見学会:6月14日 10時30分〜11時30分
参加費:無料
連絡先:matsushima.tomokai.3s@kyoto-u.ac.jp(松嶋)

  2015.12.2ナノテク革新技術フォーラム 〜京大ナノハブ拠点活用による新規技術開発に向けて〜 のお知らせ

材料の高度な微細加工や微細構造解析の支援サービスを提供する京大ナノテクノロジーハブ拠点の概要や
これらを活用した材料・デバイス開発の先進事例を幅広く紹介するとともに、交流会を開催します。
また、実際に拠点が有する最新機器を説明する見学会も実施いたします。
ナノテク技術を活用した今後の新技術・製品開発に向けたフォーラムと施設見学会にぜひ奮ってご参加ください!
詳細は  こちら  をご覧下さい。

日 時:平成27年12月2日(水) 13:00〜17:20
場 所:京都大学 国際科学イノベーション棟5階 シンポジウムホール
主 催:京都大学ナノテクノロジーハブ拠点,経済産業省近畿経済産業局
共 催:公益財団法人京都高度技術研究所 後援:京都府、京都市
参加料:無料 (交流会参加費:2,000円)
申 込:hub-kyoto(a)saci.kyoto-u.ac.jp宛に申込みください。

  2015.12.3-4 GRENE「フォトニックコース」実習セミナー 参加者募集のお知らせ

2日間に亘ってフォトリソグラフィーとドライエッチングを用いた
回折光学素子・ホログラムの作製と評価の実習を行います。
ご作製頂いたサンプルはお持ち帰り頂けます。また、全日程を参加された方には修了証を発行いたします。
詳細は  こちら  をご覧下さい。

開催日:平成27年12月3日(木)・4日(金) 計2日間
参加費:実費を頂きます (最高30,000円)  ※詳細は参加決定者宛てに通知します
会 場:京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 http://www.t.kyoto-u.ac.jp/ja/access/katsura
対 象:企業・大学の技術者,研究開発者、大学院生 3-5名(専門分野は不問・初心者歓迎)
申込締切:平成27年11月25日(水)
プログラム詳細・参加申込方法は  こちら  をご覧下さい。

  2015.10.9 電子デバイスフォーラム京都 大学セッション
ナノテクノロジープラットフォームと産学連携開催のお知らせ 

最先端の研究設備を有する研究機関が、ナノテクの基本となる技術領域を対象に、
産官学の幅広い利用者に対して、ナノテクノロジープラットフォームについて
関西地域の参画大学が講演と事業の詳細な説明を行い、ポスター展示と産学連携を含めた相談を受け付けます。

日 時:平成27年11月12日(木) 14:00〜16:50
場 所:京都リサーチパーク東地区
主 催:京都大学・大阪大学・奈良先端科学技術大学院大学ナノテクノロジープラットフォーム
参加料:無 料 (他のセミナーは有料)
申 込:「NEDIA電子デバイスフォーラム京都」申込特設サイトのこちら  よりD-1大学セッションに申込ください。

  2015.10.22-23 GRENE「創・省エネデバイスコース」実習セミナー 参加者募集のお知らせ
このたびGRENE「創・省エネデバイスコース」平成27年度実習セミナーを実施いたします。
2日間に亘って非鉛圧電材料の基礎とその薄膜化、デバイス化に関する内容を中心に実習を行います。
全日程を参加された方には修了証を発行いたします。
開催日:平成27年10月22日(木)・23日(金) 計2日間
参加費:無 料 会 場:京都大学ナノテクノロジーハブ拠点 http://www.t.kyoto-u.ac.jp/ja/access/katsura  

対 象:企業・大学の技術者,研究開発者、大学院生 3名程度(専門分野は不問・初心者歓迎)
申込はFAXにて受け付けます。(FAX:075-753-5650 申込締切:平成27年10月9日(金))
プログラム詳細・参加申込方法は  こちら  をご覧下さい。

  2015.9.24開講 GRENE「創・省エネデバイスコース」夏期集中講座 聴講生募集のお知らせ
GRENE「創・省エネデバイスコース」平成27年度夏期集中講座を開講いたします。
全5日間・15講義で、1講義からの聴講可能です。
全日程を聴講された方にはコース修了証を発行いたします。
(本講義は京都大学大学院講義の公開サテライト講座ですが、履修とはなりませんので予めご了承下さい)

開催日:平成27年9月24日(木)・25日(金)・28日(月)・29日(火)・30日(水)
参加費:無 料
会 場:京都大学工学研究科イノベーションプラザ  
対 象:企業・大学の技術者,研究開発者、大学院生 (専門分野は不問)

申込は随時FAXにて受け付けます。
詳細・参加申し込み方法は  こちら  をご覧下さい。

  2015.9.1開講 GRENE「マイクロ・ナノ材料コース」夏期集中講座 終了しました
聴講ご参加下さいました皆様には厚く御礼を申し上げます

当日の様子はこちら  をご覧下さい。

  2015.6.2開講 GRENE「フォトニックコース」夏期集中講座 終了しました
聴講ご参加下さいました皆様には厚く御礼を申し上げます

当日の様子はこちら  をご覧下さい。
  2015.2.20 文部科学省GRENE事業 平成26年度 創・省エネデバイスコース 実習セミナーのお知らせ
3月12日(木)〜13(金)圧電薄膜PZTの形成および特性評価について当ハブ施設を利用して実習します。
奮ってご参加ください。
詳細は  こちら  をご覧下さい。定員:3名(申込順) 参加費:無料
  2015.2.20 文部科学省 平成26年度 微細加工ナノプラットフォームコンソーシアムシンポジウムのお知らせ
3月4日(水)東京大学生産技術研究所(駒場)コンベンションホールにて開催。
詳細は  こちら  をご覧下さい。募集人数:150名(先着順)参加費無料
お申込み先は  こちらになります。
  2015.1.29 GRENE 成果報告会開催のお知らせ
1月29日(木)GRENE事業の平成26年度成果報告会が開催されます。
詳細はこちら  の「最新トピックス」の項を御覧下さい。
  2014.8.5 GRENE「創・省エネデバイスコース」聴講生募集のお知らせ
GRENE「創・省エネデバイスコース」平成26年度夏期集中講座を開催致します。
全5日間・15講義で、1講義からの聴講可能です。参加費は無料。
全日程を聴講された方にはコース修了証を発行致します。

開催日:平成26年9月24日(水)・25日(木)・26日(金)・29日(月)・30日(火)
募集人数:20名(定員になり次第締切)
詳細・参加申し込み方法は  こちら  をご覧下さい。

  2014.8.5 GRENE「マイクロ・ナノ材料コース」夏期集中講座 聴講生募集のお知らせ
GRENE「マイクロ・ナノ材料コース」平成26年度夏期集中講座を開催致します。
全4日間・15講義で、1講義からの聴講可能です。
京大サテライト講義を聴講頂きますが、履修とはなりませんので予め御了承下さい。

開催日:平成26年9月16日(火)・17日(水)・18日(木)・19日(金)
募集人数:20名(先着順)聴講無料
詳細・参加申し込み方法は  こちら  をご覧下さい。

The Summer Intensive Course 2014 of GRENE project, Kyoto University "Micro/Nano Material Course".
You can attend attend only preferred lectures.
This lectures are the Kyoto university extension course, but the school credit can not be acquired.

Class schedule : 16, 17, 18, 19 September 2014, 10:30〜18:00
Capacity : 20 people (first arrival) Attendance FREE of charge
Registration details and methods,   please click here.  

  2014.6.25 GRENE「フォトニックコース」公開講座および見学会 参加者募集のお知らせ
GRENE「フォトニックコース」平成26年度夏期集中講座・第5日目は 京大桂キャンパスにて
レーザープロセッシングの広範な応用例を中心にサテライト講義を行ないます。
また,桂イノベーションプラザ棟の見学会も併催致します。
情報交換会ではぜひ貴社・貴研究室の事業をご紹介下さい。ポスター出展等 歓迎致します。

平成26年7月23日(水) 於 京都大学大学院工学研究科イノベーションプラザ棟
  講義  10時30分〜16時15分(途中休憩あり)
  見学会 16時30分〜17時30分, 情報交換会 17時30分〜19時
聴講無料(情報交換会 一般2千円,学生500円)
詳細・参加申し込み方法は  こちら  をご覧下さい。

  2014.5.14 GRENE「フォトニックコース」夏期集中講座 聴講生募集のお知らせ
GRENE「フォトニックコース」平成26年度夏期集中講座を開催いたします。
全5日間・15講義で、1講義からの聴講可能です。
全日程を聴講された方にはコース修了証を発行いたします。

開催日:平成26年6月25日(水)、7月2日(水)・14日(月)・16日(水)・23日(水)
募集人数:20名(先着順)聴講無料
詳細・参加申し込み方法は  こちら  をご覧下さい。

  2014.4.16
4月23日(水)〜25日(金)、パシフィコ横浜 ホールDにおいて
「ナノ・マイクロ ビジネス展 / ROBOTECH」が開催されます。
企画展示ゾーン・プレゼンコーナーにて、ナノテクノロジーハブの概要と利用例をポスターにて紹介し、
プレゼンを行います。
詳細は  こちら  を御覧下さい。皆様のご来場をお待ちしております。

  2014.3.14 京都次世代エネルギーシステム創造戦略キックオフフォーラム募集のお知らせ
文部科学省地域イノベーション戦略支援プログラムされた
「京都次世代エネルギーシステム創造戦略キックオフフォーラム」を
下記のとおり開催し、参加者を募集しておりますのでお知らせいたします。
フォーラムの詳細と参加申し込み方法は  こちら  をご覧下さい。

日 時:平成26年3月19日(水) 13:00〜17:00
場 所:ホテルグランヴィア京都5F 古今の間(京都市下京区烏丸通塩小路下るJR京都駅中央口)
TEL: 075-344-8888
主 催:公益財団法人 京都高度技術研究所
共 催:*京都科学技術イノベーション推進協議会
参加料:無 料
定 員:150名(申し込み先着順)

  2014.3.4-5
  3月4日(火)〜3月5日(水)京都大学 GRENE 教育事業と致しまして
  「フォトニックコース」実習セミナーを開催します。   詳細は  こちら  を御覧下さい。

  2014.2.17 GRENE「創エネデバイス(圧電)コース」実習セミナー募集のお知らせ
GRENE「創エネデバイス(圧電)コース」実習セミナーを開催いたします。
今回は、圧電薄膜の研究開発をされる予定の方を対象とします。

実習内容:スパッタ法によるPZT圧電薄膜形成および構造評価
開催日:平成26年3月10(月)、11日(火)
募集人数:最大3名
参加申し込み方法は  こちら  をご覧下さい。

  2014.2.10
微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム(文部科学省委託事業)・低炭素研究ネットワーク合同シンポジウムを
3月6日(木)〜3月7日(金)、京都大学桂キャンパスで開催します。(参加費無料)
プログラムおよび参加申し込み方法は  こちら  をご覧下さい。

  2014.1.29
京都大学東京オフィスにおいて平成25年2月25日(火)、
京都SMI産学公連携セミナー「産学公連携プラットフォームの推進」が開催されます。
大学の研究開発成果を産業界・社会ニーズとマッチングさせる産学公連携プラットフォームの推進をテーマとして、
ナノテクノロジーハブ拠点の活動を 含め報告があります。 参加ご希望のかたは  こちら  をご覧ください。

  2014.1.9 見学会のお知らせ
京都大学ナノテクノロジーハブ拠点のご利用をお考えの方のために、
2月7日(金)13:30より施設および共用装置の見学会を行います。微細加工をお考えの方はどなたでも参加いただけます。
内容および申し込み方法は  こちら  をご覧ください。

  2013.11.27
京都大学ナノテクノロジーハブ拠点のご利用をお考えの方のために、12月13日(金)13:30より
施設および共用装置の見学会を行います。大学関係だけでなく企業の皆様のご参加も歓迎いたします。
内容および申し込み方法は  こちら  をご覧ください。

  2013.11.6
京都大学−ミシガン大学−フライブルク大学 3大学連携シンポジウム[MicROアライアンスシンポジウム]を、
11月21日(木)、22日(金)の両日、京都大学桂キャンパスで開催します。
プログラムおよび参加申し込み方法はこちらをご覧下さい。

  2013.8.7-9 9.5-6
  8月7日(水)〜8月9日(金)、9月5日(木)〜9月6日(金)京都大学 GRENE 平成24年度夏期集中講義
  「創エネデバイス(圧電)コース」 を開催します。   詳細は  こちら  を御覧下さい。

  2013.7.18
7月18日に文部科学省・ナノテクノロジープラットフォームの運営統括会議が京都大学吉田本部で開催されました。
  詳細は  こちら  をご参照下さい。

  2013.7.10-19
  7月10日(水)〜7月19日(金)京都大学 GRENE 平成25年度夏期集中講義
  「フォトニックコース」 を開催します。   詳細は  こちら  を御覧下さい。

  2013.5.1
5月22日(水)、大阪国際会議場 グランキューブ大阪において、「ナノテクノロジープラットフォーム関西三大学合同説明会」が開催されます。 「計測、評価、加工ナノテク設備共用体制の構築」のテーマ講演と、ポスターによるナノテクノロジーハブ拠点の紹介を行います。   詳細は  こちら  を御覧下さい。

  2013.4.26
  文部科学省のナノテクノロジー・材料開発推進室の前田室長、河村係長、堀行政調査員が当ハブを訪問されました。
小寺副学長(テレビ会議)と意見交換された後、クリーンルームおよび加工評価室を見学されました。

  2013.3.20
  文部科学大臣政務官 丹羽秀樹衆議院議員が京都大学を訪問され、ナノテクノロジーハブ拠点のクリーンルーム及び
1号館を見学されました。   詳細は  こちら  をご参照下さい。

  2013.1.23
1月30日(水) 第12回 ナノテクノロジー総合展・技術会議(nano tech 2013)(於東京ビッグサイト東5ホール)
2013シーズ&ニーズセミナーB会場「京都大学の先端研究と新技術のご紹介」において、ナノテクノロジーハ ブ拠点の
講演を行います。 詳細は  こちら  をご覧ください。


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