利用者各位
 
以前、吉田キャンパスで「B35（旧B08-2）」として運用していた
「深掘りドライエッチング装置（Φ4″仕様）」について、
桂での移設作業・運用準備が完了して、2/17から「B59」として共用開始します。
装置の運用、オペトレ講習の取扱いについては、下記のとおりです。
 
〇B34（旧B08-1)　＠吉田キャンパス
・「B34」および従来の「B35」の利用者は、これまで通りご利用いただけます。
　両装置の講習履歴は統合されていますので、設備利用管理システムにてご確認
　ください。
 
〇B59（旧B35、B08-2)　＠桂キャンパス
・利用後、装置立下げ作業を実施していただくことを原則とします。
　立下げ作業時間は課金対象外です。
・「B34」および従来の「B35」の利用者には、再度装置講習を受講いただきます（装置立下げ作業のみ）。
・装置立上げ作業はナノハブ側で実施するため、装置予約前に事前に装置担当者と
　日程調整をお願いします。
・従来は「B34」「B35」のいずれかの装置講習を受講すれば、両装置が利用でき
　ましたが、今後は各々受講頂くことになります。
 
以上、ご理解ご協力のほどよろしくお願い致します。
ご不明な点がありましたら、B59装置担当（沖川）までご連絡ください。
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　京都大学　ナノテクノロジーハブ拠点