ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

施設案内

ご利用頂ける施設

■吉田キャンパス

ご利用頂ける施設

■桂キャンパス

ご利用頂ける施設

施設使用

①クリーンルーム(総合研究6号館)

部屋面積(㎡)仕様
イエロールーム177クラス  100
クリーンルーム1111クラス 1,000
クリーンルーム254クラス 1,000
管理室35
クリーンルーム(総合研究6号館)

②クリーンルーム/第1加工・評価室(総合研究10号館 1階)

部屋面積(㎡)仕様
第1加工・評価室(EB描画室を除く) 215クラス 100,000
EB描画室(クリーンルーム) 85 クラス 1,000
クリーンルーム/加工・評価室(総合研究10号館 1階)

③第2加工・評価室(国際科学イノベーション棟東館 地階)

部屋面積(㎡)
第2加工・評価室 220
第2加工・評価室(国際科学イノベーション棟 地階)

④328室 サテライトオフィス

部屋面積(㎡)
サテライトオフィス 52
328室 サテライトオフィス

⑤桂キャンパス クリーンルーム(C3棟 地階 CBI N03室)

部屋仕様
クリーンルーム クラス 1,000
⑤桂キャンパス クリーンルーム(C3棟 地階 CBI N03室)

ご利用頂ける設備

ロッカー・LAN(安全講習ご受講時に利用方法をご案内しております)

キャンパス内の公衆無線LAN状況

携帯電話の3社(NTTドコモ、KDDI(au)、SoftBank)が提供しているWi-Fiサービスをご利用いただけます。ただし実験研究棟にはアクセスポイントが設置されていません。ご了承ください。