ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

A:ナノリソグラフィー装置群

A09スプレーコータ
Photoresist Spray Coater

  • マイクロマシン/MEMS用スプレーコーター
  • USC-2000ST
  • 製造：ウシオ電機(株)
  • 凹凸のある基板表面に同じ厚みでレジストを塗布する
スプレーコータ<br>Photoresist Spray Coater
装置仕様
Work Φ4～6"(塗布領域　□4")
Photoresist Supplying Method 2 liquid mixture spray method
Control Method Mass flow method
Workstage XYZ stage with temperature control(25-80℃)
設置場所
総合研究6号館
イエロールーム
装置利用料金
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