ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

A:ナノリソグラフィー装置群

A12ICP質量分析装置
Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer

ICP質量分析装置<br>Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer
装置仕様
感度(Mcps/ppm) Li (7) : 50
Y (89) : 160
Tl (205) : 80
バックグラウンド(cps) ノーガス(9 amu) : < 2
He セルガス(9 amu) : < 0.5
酸化物生成比(%) CeO/Ce : < 1.5
2価イオン生成比(%) CeO/Ce : < 3
ノーガスモード検出下限(ppt) Be (9) : 0.5
In (115) : 0.1
Bi (209) : 0.1
He モード検出下限(ppt)* As (75) : 20
Se (78) : 40
短期安定性(%RSD) 20分 : < 3
長期安定性(%RSD) 2時間 : < 4
同位体比精度(%RSD) Ag (107)/Ag (109) : < 0.1

* As およびSe のHe モードでの検出下限測定は、ArCl とCaClの影響を受けないことを示すために、1% HNO3、2% HCl、および100 ppm Caをマトリクスとした混合標準 液で実施します。他のテストは、1% HNO3 のマトリクスで実行します。

設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
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