この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター
A16
近接効果補正システム
Proximity Effect Correction System
BEAMER Full Package
製造：
GenISys 株式会社
Under construction
装置仕様
設置場所
工学部物理系校舎
サテライトオフィス
