ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

A:ナノリソグラフィー装置群

A18高圧ジェットリフトオフ装置
High Pressure Jet Lift-off Apparatus

高圧ジェットリフトオフ装置<br>High Pressure Jet Lift-off Apparatus
装置仕様
剥離機構 加温NMP流下によるレジスト膨潤／加温NMP加圧噴射によるレジスト剥離
加温：最高80℃、常用65℃
加圧：1.47～14.7MPa、常用6.6～13.2MPa
基板サイズ 真空吸着用テーブル：吸着部分φ60mm、テーブル外径φ70mm
　　　　　　　　　　Φ6インチウエハ可
ピンテーブル：□10mm～45mm可変
用途 プログラム操作で、リフトオフとその後の水洗、乾燥を実行
設置場所
総合研究6号館
イエロールーム
装置利用料金
こちらをご覧ください。