ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

A:ナノリソグラフィー装置群

A22二光子重合式3Dプリンター
3D Nanolithography System

  • 3D LITHOGRAPHY AND 3D MICROPRINTING
  • MPO100
  • 製造:Heidelberg Instruments
  • 2光子重合技術を利用したマイクロ・ナノレベルの3Dプリンター
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    The MPO 100 is a Two-Photon Polymerization (TPP) multi-user tool for 3D Lithography and 3D Microprinting of microstructures with applications in Optics, Photonics, Mechanics, and Biomedical Engineering. The modular 3D printing platform MPO 100 offers high precision on demand for 3D Lithography as well as high print volume for 3D Microprinting and enables production of complex functional microstructures with high throughput in a single process step.
二光子重合式3Dプリンター<br>3D Nanolithography System
装置仕様
最小描画ライン幅 100 nm
最小表面粗さ 10 nm 以下
最大描画厚さ 380 μm
アライメント精度 1.5 μm 以下
最大印刷領域 100 mm x 100 mm
光源 フェムト秒レーザー(波長: 522 nm)

メーカー製品情報ページ

設置場所
総合研究6号館/イエロールーム
装置利用料金
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