ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

A:ナノリソグラフィー装置群

A57超微細インクジェット描画装置
Super Fine Inkjet Printer

  • サブフェムトインクジェット加工装置
  • ST050
  • 製造：(株)SIJテクノロジ
  • 超微量・高粘度吐出の可能なスーパーインクジェットヘッドにより、大気圧・常温下でフォトリソグラフ工法に匹敵する微細なパターンを直接描画することができます。
超微細インクジェット描画装置<br>Super Fine Inkjet Printer
装置仕様
最少吐出量 0.1フェムトリットル
最小ライン幅 0.6マイクロメートル
対応粘度範囲 0.5～10,000cps（非加熱）
広範な種類の液滴の吐出可能 導電性ペースト、絶縁性インク、レジスト、接着剤、
タンパク質、溶剤系、UV系など
その他 付属ソフトウェアにより複雑なパターンを簡単に製作可能
分解能0.1マイクロメートル、
繰り返し位置決め±0.2マイクロメートルの高精度ステージ搭載
塗布最中の映像をリアルタイム観察可能
設置場所
桂／クリーンルーム
装置利用料金
こちらをご覧ください。