この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター
B06
集束イオンビーム/走査電子顕微鏡
Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM
NVision40PI
製造:
エスアイアイナノテクノロジー
▶高性能FIBとFE-SEMの複合装置
▶複数の検出器により、形状・表面電位・組成など様々な情報を取得可能。EDS/EBSDも搭載したことにより、元素分析・結晶方位解析も同時に可能。
▶真空用ナノインデンタ-システム搭載
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
こちら
をご覧ください。