ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B06集束イオンビーム／走査電子顕微鏡
Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM

  • NVision40PI
  • 製造：エスアイアイナノテクノロジー
  • ▶高性能FIBとFE-SEMの複合装置
    ▶複数の検出器により、形状・表面電位・組成など様々な情報を取得可能。EDS/EBSDも搭載したことにより、元素分析・結晶方位解析も同時に可能。
    ▶真空用ナノインデンタ－システム搭載
集束イオンビーム／走査電子顕微鏡<br>Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
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