ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B14赤外フェムト秒レーザ加工装置
Femtosecond Cr:Forsterite Laser System

  • CrF-65
  • 製造:AVESTA PROJECT社
  • 1.23μmの短パルスレーザーを集光し、精密な加工を実現
赤外フェムト秒レーザ加工装置<br>Femtosecond Cr:Forsterite Laser System
装置仕様
フェムト秒クロムフォルステライト発振器(CrF-65)
発振波長 1230nm-1270nm
平均出力 180mW-250mW-
空間モード TEM00
パルス幅 <100fs
繰り返し周波数 75MHz-125MHz
再生増幅器:Fregat-200+マルチパス増幅器:GIGARUS-10
発振波長 1230nm-1240nm
パルスエネルギー >1.0mJ
ビーム品質 M2<1.3(TEM00)
パルス幅 ><150fs
繰り返し周波数 50Hz
シングルショットオートコリレーター(ASF-20)
波長範囲 1000nm-1700nm
スキャンレート >10Hz
測定レンジ 20fs-10ps
三次元空気ばね式除振台(AS-2415)
定盤寸法 2400mm × 1500mm × 800mm
定盤厚さ 210mm
最大積載重量 500kg
定盤上面タップ仕様 M6×25mmピッチ
デジタルオシロスコープ
周波数帯域 1GHz
チャンネル数 4チャンネル
設置場所
国際科学イノベーション棟
東館地階
第2加工・評価室
装置利用料金
こちらをご覧ください。