ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B15レーザアニール装置
KrF Laser Annealing System

  • KrFエキシマレーザアニーリング システム
  • LAEX-1000
  • 製造：AOV(株)
  • KrFレーザーを結像マスクに通し、マスクのパターンを真空チェンバー内のターゲット上に 縮小投影することによって、ターゲット表面のアニーリングをする装置。波長248nm。
レーザアニール装置<br>KrF Laser Annealing System
装置仕様
ビームの縮小率 7.95
マスク上での均一強度分布のビームサイズ 20x20mm
マスク上での均一性 <5%
マスク上での最大エネルギー密度 95mJ/cm2
ターゲット上での最大エネルギー密度 ターゲット上での 最大エネルギー密度
作動距離 67 mm
分解能 5.3 um Lines&spaces
光利用効率 ～61％
設置場所
国際科学イノベーション棟
東館地階
第2加工・評価室
装置利用料金
こちらをご覧ください。