B18レーザダイシング装置
Laser Stealth Dicer
装置仕様 | |
適用基板サイズ | Φ6"以下 |
適用フレームサイズ | Φ6"フレーム |
X軸 | ストローク 419mm 移動速度 0.1~600mm/s 制御分解能 0.002mm 真直度 0.0015mm/210mm(水平,垂直共) |
Y軸 | ストローク 320mm 移動速度 max.100mm/s 制御分解能 0.0002mm(クローズドループ) 位置決め精度 0.002mm/250mm |
Z軸 | ストローク 9mm 移動速度 max.20mm/s 制御分解能 0.0001mm(クローズドループ) 位置決め精度 0.001mm/1mm |
設置場所 |
総合研究10号館 加工・評価室 |
装置利用料金 |
こちらをご覧ください。 |