ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B19ダイシングソー
Automatic Dicing Saw

  • オートマチックダイシングソー
  • DAD322
  • 製造：(株)ディスコ
  • ブレードを高速回転させてシリコン、サファイヤ、金属等の基板をカットする
ダイシングソー<br>Automatic Dicing Saw
装置仕様
ワークサイズ MAX Φ6"ウエハ
ワーク厚さ MAX 4.3mm 【要相談】
位置決め精度（Y軸） 5um以内
加工対象 Si、セラミックス、PZT、LiTaO3、ガラス、石英、複合材ほか
その他 パッケージ型純水装置
ミニピュア　S-100（切削水、洗浄水）
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
こちらをご覧ください。