ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B20真空マウンター
Wafer Vacuum Mounter

  • 真空テープ貼り付け装置
  • VTL-201
  • 製造：日本電気(株)
  • 低真空圧力環境下でウエハーに粘着テープを貼り付ける装置
真空マウンター<br>Wafer Vacuum Mounter
装置仕様
基板サイズ Wafer Φ4"およびΦ6"
制御方式 シーケンサコントロール
機能 真空引き、N2パージ仕様
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
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