ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B22エキスパンド装置
Die Matrix Expander

  • ウエハー拡張装置
  • TEX-21BG GR-5
  • 製造：テクノビジョン
  • ダイシングされたウエハーを粘着フィルムごとX-Y方向に均一に引き伸ばし拡張する装置。
エキスパンド装置<br>Die Matrix Expander
装置仕様
基板サイズ Wafer Φ6"以下
拡張ストローク 50mmストローク拡張機構及び調整機構
拡張ステージ温度 常温～80℃可変
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
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