ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B51パリレン成膜装置
Parylene Coater

  • ラボコータ
  • LABCOTERPDS-2010
  • 製造：SCS社
  • 真空中に入れられるものであればどんなものにでもコーティング可能。全面に均一な極薄コーティングが可能であり、微細な隙間中なども均一にカバーする。
パリレン成膜装置<br>Parylene Coater
装置仕様
蒸着室有効面積 0.032m3
最大ダイマー 100g
原料ダイマー DPXC,DPXN
4インチ以内
設置場所
桂クリーンルーム
装置利用料金
こちらをご覧ください。