ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

B:ナノ材料加工・創生装置群

B55ナノインプリント装置
Nanoimprint Lithography

  • TP-32937
  • 製造：(株)マルニ
  • 国内で最も多く普及しているエアプレス動きを油圧で制御するハイチェック機構付き4インチウエハ対応
ナノインプリント装置<br>Nanoimprint Lithography
装置仕様
出力 10ｋN
1000kg
ストローク 全ストローク：50～100（調整量50）
早送り：0～50 
油圧制御送り：50（固定)
リーチ　mm 160
オープンハイト 250
テーブル寸法　mm □220
シリンダー受圧面積㎠ 241.8桂クリーンルーム
設置場所
桂クリーンルーム
装置利用料金
こちらをご覧ください。