この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター
B58
電子線蒸着装置(2)
Electron Beam Evaporator(2)
薄膜製造加工システム
OVE-350
製造:
(株)大阪真空機器製作所
装置仕様
基板サイズ
φ4”ウェハ x 1枚
電子源
3連
基板加熱
300℃
設置場所
桂クリーンルーム
装置利用料金
こちら
をご覧ください。