ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C01超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
Ultra-High Resolution Filed Emission SEM

  • 日立超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
  • SU-8000
  • 製造：(株)日立ハイテクノロジーズ
  • ・絶縁物試料は、チャージアップ抑制機能を用いて観察可能
    ・通常の二次電子像に加え、組成コントラスト、電位コントラストでの像取得が可能
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡<br>Ultra-High Resolution Filed Emission SEM
装置仕様
像分解能 1.0nm@15kV　1.4nm@1kV
取得可能像 二次電子像、組成像、透過像、透過暗視野像
試料サイズ Max100mmΦ,高さ30mm以下
観察領域 試料中心より±25mm(X,Y)
データ記録 DVDマルチドライブ
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
こちらをご覧ください。