ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C063D測定レーザー顕微鏡
3D Measuring Laser Microscope

  • OLS4000-SAT
  • 製造:オリンパス(株)
  • ・落射白色LED照明(明視野、微分干渉)やレーザー集光(反射)による表面形状の計測
    ・急峻な表面であっても測定可能
    ・nm以下の凹凸をレーザー微分干渉観察により明確に観察可能
    ・高精度でかつ広範囲の表面形状データ取得可能
3D測定レーザー顕微鏡<br>3D Measuring Laser Microscope
装置仕様
光源 405 nm半導体レーザー
検出系 光電子増倍管
平面測定精度 繰り返し性:3σn-1=0.02um(100X) 
正確さ:測定値の±2%
高さ測定精度 繰り返し性:σn-1=0.012um(50X) 
正確さ:0.2+L/100μm以下(L=測定長μm
高さ移動分解能 10 nm
駆動長さ 100x100x100 mm3
観察方法 明視野/微分干渉/レーザー/レーザー微分干渉
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
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