ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C11分光エリプソメーター
Spectral Ellipsometer

  • 分光エリプソメータ
  • FE-5000
  • 製造：大塚電子(株)
  • ・分光エリプソスペクトルの多波長同時測定
    ・基板（バルク）光学定数（n、k）が直接解析可能
    ・角度可変測定により、薄膜のより詳細な解析に対応
分光エリプソメーター<br>Spectral Ellipsometer
装置仕様
測定膜厚範囲 1nm～1μm
測定波長範囲 300nm～800nm
サンプルサイズ 200mmx 200mm以上
測定スポット径 約Φ1.2mm
測定項目 エリプソパラメータ（cosΔ、tanΨ）、
膜厚、屈折率、消衰係数、絶対反射率
設置場所
総合研究6号館
クリーンルーム2
装置利用料金
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