ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C16マイクロシステム　アナライザ
Micro System Analyzer

マイクロシステム　アナライザ<br>Micro System Analyzer
装置仕様
対物レンズ 振動測定用
　倍率：10X(測定視野：0.90 x 0.67 mm）
　倍率：20X（測定視野：0.45 x 0.335 mm）
表面形状測定用
　倍率：10X（測定視野：0.90 x 0.67 mm）
測定モード シングルビーム／差分ビーム
振動周波数 HF速度：～2.5MHz（VD-07，VD-09）
HF変位：～20MHz（DD-300）
振動周波数 1Hz～1MHz
Z方向可動範囲 250um（対物レンズ内蔵ピエゾ式移動ステージ）
その他
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
こちらをご覧ください。