ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C17プローバ
Prober

  • 微小電流測定用ウエーハマニュアルプローバ
  • 708fT
  • 製造：(株)日本マイクロニクス
  • 微小電流(fAレベル)領域の解析・評価を行うためのマニュアルプローバ
プローバ<br>Prober
装置仕様
Wafer　size ～Φ200mm
Stage　travel X:220mm　Y:270mm
Sub-stage　travel X:10mm　Y:10mm
Z　stroke 0/0.3/3.5mm+2mm
θ　stroke ±5°
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
こちらをご覧ください。