この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学 ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学 微細構造解析プラットフォーム
・京都大学 医学研究科 医学研究支援センター
C17
プローバ
Prober
微小電流測定用ウエーハマニュアルプローバ
708fT
製造:
(株)日本マイクロニクス
微小電流(fAレベル)領域の解析・評価を行うためのマニュアルプローバ
装置仕様
Wafer size
~Φ200mm
Stage travel
X:220mm Y:270mm
Sub-stage travel
X:10mm Y:10mm
Z stroke
0/0.3/3.5mm+2mm
θ stroke
±5°
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
こちら
をご覧ください。