ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C18真空プローバ
Vacuum Probe System

真空プローバ<br>Vacuum Probe System
装置仕様
プローブステーション チャックサイズ：Φ150mm，Φ100mm，小片基板　ほか
ステージ移動範囲：100 x 100mm 
チャック温度：-40～+200℃
真空チャンバー 制御圧力：10～10-2Pa（TMP）
雰囲気ガス：N2
シングルプローブ プローブ数：4（MAX 6系統）
タイプ：SMA 
周波数：DC～HF
光学機器 倍率：1.16～14x 
XY移動範囲：50 x 50 mm
その他 マイクロシステムアナライザ（C16）との併用可
設置場所
総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
こちらをご覧ください。