C21光ヘテロダイン微小振動測定装置
Optical Heterodyne Laser Doppler Vibrometer
装置仕様 | |
測定方向 | 縦振動、横振動の方向を切り替えて測定 |
測定周波数 | 1kHz~200MHz |
ビーム径(20倍対物) | 縦振動時:約Φ10μm 横振動時:約Φ15μm |
設置場所 |
国際科学イノベーション棟 東館地階 第2加工・評価室 |
装置利用料金 |
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