C26⾼周波伝送特性測定装置(C27+C28+C29)
Manual Prober
| 特徴 |
| ・6インチホットチャックにより、室温から300℃の高温でデバイスの評価が可能。 |
| ・粗動+XYZθ高精度精密ステージによりスムーズで正確なデバイスの位置合わせが可能。 |
| ・プローブ位置合わせのストローク量: X,Y,Z各±5 mm |
| ・シールドボックスに格納し、遮光した状態での評価が可能。 |
| ・タングステン針、RFプローブ(C27)を用意。 |
| ・RFプローブはカスケード社、ズース社、GGB社の全てに対応。 |
| ・計測器として、ROHDE&SCHWARZ社製ベクトル・ネットワーク・アナライザR&S ZVBもしくはKEITHLEY Instruments社製半導体特性評価システム4200-SCSを使用。(それぞれ、C28,C29) |
| 設置場所 |
| 総合研究10号館 加工・評価室 |
| 装置利用料金 |
| こちらをご覧ください。 |