京都大学ナノテクノロジーハブ拠点

ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)

・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科医学研究支援センター

C29半導体パラメータアナライザ
Semiconductor Parameter Analyzer

4200-SCS
製造：ケースレーインスツルメンツ

半導体パラメータアナライザ<br>Semiconductor Parameter Analyzer

その他

・SMU+プリアンプ　4台
　最大200 V印加; 電流値の上限は2W/印加電圧
100 fAの微小電流発生
電流値最小分解能　0.1 fA, 確度 10 fA(ただし、環境に依存します。)

・GND端子 1台

・OS内臓(Windows XP)

・インターフェース：GPIB, RS-232, USB, 10/100 BASE-Tイーサネット

・GPIBインターフェースにより外部計測器の制御または、外部からの制御が可能

設置場所

総合研究10号館
加工・評価室

装置利用料金

こちらをご覧ください。