ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C32C33触針式段差計
Stylus Profilometer

触針式段差計<br>Stylus Profilometer
装置仕様
垂直表示レンジ 6.5nm～524μm
垂直方向分解能/測定レンジ 0.1nm/6.5μm,1nm/65.5μm,8nm/524μm
垂直分解能(最高) 0.1nm
測定距離 50μm～55mm
サンプルステージサイズ 直径　150mm
ステージ移動範囲 X:±50mm　Y：+75mm,－25mm　θ：360°
設置場所
総合研究6号館
クリーンルーム2

総合研究10号館
加工・評価室
装置利用料金
こちらをご覧ください。