ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C34ウエハプロファイラ
Optical Wafer Profiler

  • Optical Profiler
  • Zeta-388
  • 製造：ケーエルエー・テンコール(株)
  • ・ナノサイズからミリサイズまでの非接触3次元表面形状測定装置
    ・様々な表面計測モード（ZDot™共焦点グリッド測定、垂直走査干渉測定、位相シフト干渉測定など）
    ・4インチ、6インチ、8インチウエハの自動搬送による計測。
    ・取得した複数の測定画像をつなぎ合わせる機能（スティッチング機能）
ウエハプロファイラ<br>Optical Wafer Profiler
装置仕様
光源 白色LED、緑色LED
対物レンズ倍率 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 10x(干渉), 20x(干渉), 50x(干渉)
測定モード ZDot™共焦点グリッド測定、垂直走査干渉測定、位相シフト干渉測定、膜厚測定、欠陥数カウント
Z軸移動レンジ 40ｍｍ（モーター）、200um（ピエゾ）
Z軸最小移動分解能 13nm（モーター）、2nm（ピエゾ）
設置場所
総合研究6号館
クリーンルーム2
装置利用料金
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