ナノテクノロジー　プラットフォーム　微細加工プラットフォームコンソーシアム　実施機関

併用装置・検索

この装置検索システムでは京大ナノハブ拠点所有の装置はもちろんのこと、
下記機関の供用装置も検索が可能です。(2019年4月1日現在)
・大阪大学　ナノテクノロジー設備併用拠点 微細加工ナノテクノロジープラットフォーム
・京都大学　微細構造解析プラットフォーム
・京都大学　医学研究科 医学研究支援センター

装置一覧

C:ナノ材料分析・評価装置群

C51光⼲渉膜厚計
Thickness Measurement Instruments

  • 膜厚測定システム
  • F20
  • 製造：FILMETRICS
  • サンプルはフェイスUp　Downいずれでも測定可能
光⼲渉膜厚計<br>Thickness Measurement Instruments
装置仕様
膜厚測定範囲 15nm～70µｍ
膜材料その他条件によって異なります。
波長範囲 380～1050nm
設置場所
桂化学処理室
装置利用料金
こちらをご覧ください。