ナノテクノロジー プラットフォーム 微細加工プラットフォームコンソーシアム 実施機関

お知らせ

2019/05/08
B05 プラズマCVD装置 予約時のお願い

4月より、これまでの酸化膜の成膜に加え、窒化膜の成膜も可能となりました。
  
【作業内容】欄に、酸化膜&/窒化膜 の記載をお願いします。
また、従来からの酸化膜成膜も操作方法が変更になりましたので、
ともに装置講習が必要です。
  
予約の前に、メール(kyodai-hub@saci.kyoto-u.ac.jp)で
担当者と日程調整していただいたくようお願いいたします。
すでに本装置をご利用の場合は、装置講習料は不要です。