3月25日(月)より3月29日(金)まで施設メンテナンスのため、ナノハブの全装置(1号館（1階、地下室）、6号館)は
ご利用できません。
また、A1：高速高精度電子ビーム描画装置は3/11(月)よりメンテナンス作業に入っており、3月末まで使用できません。