当該装置の機能維持のため、電子銃交換等の定期メンテナンスを実施します。

利用者の皆様には、ご不便をおかけしますが、ご理解とご協力の程よろしくお願いいたします。

■装置名：A15 大面積超高速電子ビーム描画装置（F7000S-KYT01)

■期　間：9月21日（火）～ 9月30日（木）