当該装置の機能維持のため、電子銃交換等のメンテナンスを実施します。

利用者の皆様には、ご不便をおかけしますが、ご理解とご協力の程よろしくお願いいたします。

■装置名：A1 高速高精度電子ビーム描画装置（ELS-F125HS）

■期　間：11月29日（月）～ 12月17日（金）