2014年8月より『大面積超高精度電子線描画装置』（株式会社アドバンテスト社製F7000S-KYT01）の利用を開始します。本装置は、1Xnmの解像性能で、研究開発から製造までの幅広い用途に適応します。
料金等詳細は近々にお知らせします。ご利用のほど宜しくお願いいたします。