4/3～4/15の期間、A15 大面積超高精度電子線描画装置、4/13～4/16の期間、B18 レーザダイシング装置が、定期メンテナンスの為、ご利用できません。
ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。