2015/10/02 利用停止装置のお知らせ
10/9(金)~10/23(金)の期間、A15 大面積超高速電子ビーム描画装置が定期メンテナンスの為、ご利用できません。 ご迷惑をおかけしますが、何卒よろしくお願いいたします。