予約システムでメンテ期間でも、使える場合があります。
逆に、予約できるようになっている日でも、
ターゲットや成膜方法によっては、使えない日もあります。
ご希望の日程、成膜内容をメール等でご連絡いただければ調整しますので、
宜しくお願い致します。
 
【9/9 更新】
スパッタ装置RF電源の復旧作業が完了し、通常運用に戻りました。