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お知らせ

2022/07/21
スパッタ装置(B01、B02)ご利用の方へ

予約システムでメンテ期間でも、使える場合があります。
逆に、予約できるようになっている日でも、
ターゲットや成膜方法によっては、使えない日もあります。
ご希望の日程、成膜内容をメール等でご連絡いただければ調整しますので、
宜しくお願い致します。