2022/07/21 スパッタ装置(B01、B02)ご利用の方へ
予約システムでメンテ期間でも、使える場合があります。 逆に、予約できるようになっている日でも、 ターゲットや成膜方法によっては、使えない日もあります。 ご希望の日程、成膜内容をメール等でご連絡いただければ調整しますので、 宜しくお願い致します。