ナノハブ利用者　各位
 
いつも弊所をご利用頂きまして、誠にありがとうございます。
弊所では、施設装置のメンテナンスのため、年度末に休業をとっています。
なお、今年度末は新規装置導入に伴って一部装置の移設を実施するため、
当該装置の共用サービスをしばらく停止させて頂きます。
詳しくは、下記表をご確認ください。

 
また、35/深堀りドライエッチング装置（Φ4″仕様）の共用停止の影響を鑑みて、
現在、B34/同（Φ6″仕様）の運用（ウエハ仕様変更等）について協議しています。
詳細決定後、こちらのページにてご案内させて頂きます。
 
以上、ご不便おかけ致しますが、ご了承のほどよろしくお願い申し上げます。
 
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