A15 大面積超高速電子ビーム描画装置（F7000S-KYT01)の定期メンテを5月30日から6月9日にかけて実施します。
5月30日(月）から6月9日（木）にかけて実施します。この間装置が利用できません。
ご不便をお掛けし誠に申し訳ございませんが、ご理解とご協力の宜しく御願い申し上げます。