A15 大面積超高速電子ビーム描画装置(F7000S-KYT01)定期メンテを10月11日から10月19日にかけて実施します。
利用開始は10月20日からの予定です。ご利用者の皆様にはご不便をおかけし大変申し訳ございませんがご理解とご協力の程、宜しくお願い申しあげます。