いつも弊所をご利用いただき、ありがとうございます。
 
B35「深堀りドライエッチング装置 Φ4″仕様」 の桂キャンパスへの移設に伴って、2023年４月3日より、B34「 同 Φ6″仕様」で、４インチ、小片など、
６インチより小さな基板もサポートウエハに貼り付けてご利用いただけます。
 
酸化膜付き６インチウエハをご利用いただくことが可能で、弊所で購入することもできます。
酸化膜の消耗の大きいレシピに対しては、６インチウエハの周辺部をポリイミドフィルムで被覆したサポートウエハも準備（無償）しています。
ご面倒、ご負担をおかけいたしますが、新装置導入によるサービス向上のためであることをご理解いただきますよう、お願い申し上げます。