2023/03/10
B34「深堀りドライエッチング装置 Φ6″仕様」 のご利用に関して
いつも弊所をご利用いただき、ありがとうございます。
B35「深堀りドライエッチング装置 Φ4″仕様」 の桂キャンパスへの移設に伴って、2023年4月3日より、B34「 同 Φ6″仕様」で、4インチ、小片など、
6インチより小さな基板もサポートウエハに貼り付けてご利用いただけます。
酸化膜付き6インチウエハをご利用いただくことが可能で、弊所で購入することもできます。
酸化膜の消耗の大きいレシピに対しては、6インチウエハの周辺部をポリイミドフィルムで被覆したサポートウエハも準備(無償)しています。
ご面倒、ご負担をおかけいたしますが、新装置導入によるサービス向上のためであることをご理解いただきますよう、お願い申し上げます。